Устройство управления газонатекателями при магнетронном распылении

Содержание

Введение

1. Литературный обзор

1.1 Классификация и предъявляемые требования

1.2 Известные конструкции исполнительных механизмов и их устройств управления

2. Анализ технического задания

2.1 Назначение и общая характеристика устройства управления газонатекателями

2.2 Требования к конструкции устройства управления газонатекателями

3. Выбор и обоснование компоновочной схемы, метода и принципа конструирования

4. Выбор и обоснование конструктивных материалов и комплектующих изделий

5. Конструкторские расчеты

5.1 Компоновочный расчет устройства

5.2 Расчет показателей надежности устройства

5.3 Расчет теплового режима устройства

5.4 Расчет конструкторско-технологических параметров печатной платы. Выбор и обоснование метода ее изготовления

5.5 Расчет параметров печатного монтажа.

5.6 Расчет конструкции на виброзащищенность

5.7Проектирование и расчет катушки газонатекателя

6. Технологическая часть

6.1 Расчет комплексного показателя технологичности печатных плат

6.2 Выбор технологического оборудования, разработка и оптимизация маршрутной технологии, проектирование процесса сборки печатных плат

6.3 Разработка технологической схемы сборки печатной платы

7. Технико–экономическое обоснование конструкции

7.1 Расчет себестоимости и отпускной цены единицы продукции

7.2 Расчёт единовременных затрат

8. Охрана труда, техника безопасности охрана окружающей среды

8.1 Понятие охраны труда и ее социально-экономическое значение

8.2 Организация безопасности эксплуатации проектируемого устройства

8.3 Режим рабочего времени и времени отдыха обслуживающего персонала

Заключение

Введение

Целью данного проекта является разработка конструкции функционально законченного устройства управления газонатекателями при магнетронном распылении. Разработка данного устройства вызвана необходимостью повысить производительность труда на этапе регулировки расхода газа в вакуумном оборудовании, предназначенного для нанесения пленочных покрытий на электронные и оптические изделия. В данной конструкции, по сравнению с аналогичными приборами, устранен ряд недостатков:

· упрощен процесс регулирования расхода газа, конструкция газонатекателя и электрическая схема электронного блока;

· повышена точность, скорость регулировки расхода газа поступающего в вакуумный объем защищенность от климатических и механических факторов;

В ходе дипломного проектирования решаются следующие задачи:

1) проводится анализ технического задания;

2) анализируется схема электрическая принципиальная;

3) обосновывается элементная база и материалы проектируемого изделия;

4) разрабатывается внутренняя компоновка устройства;

5) проводятся расчеты, подтверждающие работоспособность устройства (некоторые с помощью ЭВМ);

6) выбирается метод монтажа РЭА;

7) на этапе разработки конструкции печатной платы выполняются расчеты;

8) производится выбор и обоснование допусков на несущие конструкции;

9) оценивается технологичность изделия и определяется технологический процесс сборки;

10) экономически обосновывается целесообразность изготовления устройства;

11) с точки зрения охраны труда и экологической безопасности оцениваются эстетические и эргономические показатели разработанного устройства.

Решив все приведенные выше задачи необходимо проанализировать полученные по всем пунктам результаты и сделать окончательный вывод необходимости внедрения проектируемого устройства.

1. Литературный обзор

1.1 Классификация и предъявляемые требования

Регуляторы расхода газа представляет собой комплекс функциональных средств вакуумных систем, предназначенных для регулирования газовых потоков, создания дозированных потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при разгерметизации, коммутации системы многопозиционной последовательной откачки и т. д.

Для регулирования газовых потоков используют вакуумные натекатели, классифицированные по ряду признаков конструктивного и эксплуатационного характера. В конструктивном отношении натекатели подразделяют на угловые и проходные, по типу привода — на электромеханические, электромагнитные и электропневматические. В угловых натекателях газовый поток меняет направление, встречая препятствие в виде уплотнительного клапана и стенок корпуса, в проходных — направление потока не меняется. В проходных клапанах отверстия полностью освобождены от уплотнительного диска.

Газовый поток Q_å , выделяющийся из основных элементов натекателей, можно представить в виде суммы потоков:

Q_å =Q_H +Q_Г +Q_П +Q_М,

где Q_H — поток, натекающий через механический вакуумный ввод, разъемные и неразъемные вакуумные соединения; Q_Г — поток, формирующийся газопроницаемостыо через стенки и уплотнения натекателя; Q_П — поток, создаваемый газовыделением с поверхностей натекателя, обращенных в вакуум; Q_М —молекулярный газовый поток из диффузионно-щелевых каналов, образующихся при сборке натекателя.

Для уменьшения суммарного газового потока следует применять соответствующие конс

Внимание, отключите Adblock

Вы посетили наш сайт со включенным блокировщиком рекламы!
Ссылка для скачивания станет доступной сразу после отключения Adblock!

Скачать